Россия и Беларусь работают над созданием отечественного литографа  Оригинал

Создание отечественного оборудования для производства микроэлектронных компонентов - одна из сложнейших и в то же время базовых задач для отечественной микроэлектроники. Без ее решения любые производства будут находиться в постоянной зависимости от воли иностранных государств. Но масштаб этой задачи трудно переоценить - не зря она покорилась лишь совсем немногим. Поэтому нет ничего удивительного в том, что ее взялись решать в рамках Союзного государства. О вызовах и достижениях в сфере отечественной литографии "РГ" рассказал замглавы минпромторга Василий Шпак.

Василий Викторович, общаемся в контексте предстоящего форума ЭЛМАШ-2026 в Минске. Одна из самых трудоемких задач для отечественной микроэлектроники сегодня - это создание собственного литографического оборудования. Насколько я знаю, совместно с белорусскими коллегами завершена разработка установки на 350 нм, и уже ведется изготовление серийных машин. Какой главный технологический вызов удалось преодолеть в кооперации с Минском?

Василий Шпак: Лучшее подтверждение успеха - это уже подписанные контракты на поставку двух машин заказчикам. Считаю, что секрет в том, как мы подошли к испытаниям. Мы не стали жалеть опытный образец. Наши технологи с фабрик испытывали его точно так же, как если бы принимали импортное оборудование. Никаких скидок на то, что это "первенец", не было. Именно такая жесткая и честная приемка позволила нам в сжатые сроки довести машин...