В России создадут ключевое оборудование в микроэлектронике  Оригинал

Россия достраивает собственную производственную цепочку в микроэлектронике - от готовых чипов до оборудования, на котором их делают. Минпромторг направит более 1,43 миллиарда рублей на разработку отечественной автоматизированной установки жидкостной химической обработки кремниевых пластин диаметром до 200 миллиметров. Информация об этом была опубликована на сайте госзакупок.

Установка - одно из ключевых звеньев производства микросхем. Она должна автоматически выполнять травление, очистку и сушку пластин диаметром 100, 150 и 200 миллиметров, обрабатывать не менее 100 пластин за цикл и работать минимум с восемью реагентами. Пластины 150 и 200 миллиметров - рабочий формат так называемой зрелой микроэлектроники, на которой держится выпуск силовых приборов, микроконтроллеров и чипов для промышленности и транспорта. Принципиально важно, что ключевые элементы установки должны быть российского производства, а импортные комплектующие допускаются лишь по согласованию с заказчиком. Работы предстоит завершить до 30 ноября 2029 года.

Зачем это нужно? Жидкостная химическая обработка - одна из самых частых операций в производстве чипов: между нанесением слоев пластину десятки раз очищают от мельчайших загрязнений и протравливают, формируя нужный рисунок схемы. На микронном уровне даже единичные частицы или остатки реагентов выводят будущую микросхему из строя, поэтому именно от качества очистки и сушки во многом зависит доля годных кристаллов. Автоматизир...